• スペースチャンバー

  

• 超高真空チャンバー

  

• その他

  • アルミ製
  • ステンレス製
  • チタン製

• 高真空角型ゲートバルブ

  

• 超高真空オールメタルバルブ

  

• 真空部品フランジ・フレキ

  

• Z シフト

  

各種ポンプを組み合わせ、排気セットも製作いたします

• 真空排気セット

  

• ターボ分子ポンプ

  

• その他

  • ロータリーポンプ
  • ダイアフラム真空ポンプ
  • 真空ブロアー
  • イオンポンプ
  • クライオポンプ